拡散シリコン圧力トランスミッタ
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拡散シリコン圧力伝送器
目的 DWP-800 送信機は、ピエゾ抵抗センサーと信号変換モジュールで構成されています。センサーのコア コンポーネントは、単結晶シリコン ウエハーです。単結晶シリコンウェーハに圧力がかかると、それ自体の抵抗率が変化します。4 つの抵抗器は、半導体プレーナ プロセスによってシリコン チップ上に拡散され、ホイートストン ブリッジを形成するように接続されます。定電流の作用下では、圧力信号に比例する電圧信号は...
